二氯二氧化钼
化学式:MoO2Cl₂ CAS :13637-68-8 外观 :淡黄色结晶粉末 纯度规格:≥99.999%(5N)可应用于半导体前驱体,ALD制备钼前驱体,钼原子层沉积原料
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化学式:MoO2Cl₂
CAS :13637-68-8
外观 :淡黄色结晶粉末
纯度规格:≥99.999%(5N)
应用领域 :
催化剂领域:用于特定有机反应(如氧化、复分解)。
电子材料领域:作为原子层沉积(ALD)的关键前驱体,用于制备高质量氧化钼(MoOₓ)薄膜,并应用于高k介质、界面工程、存储器和新型晶体管等先进半导体器件中。